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我国半导体制备发展迅速,相应地对氟化工的依赖程度也在不断增加。电子级氢氟酸作为半导体制备、集成电路清洗的关键性材料,我国长期以来依赖于进口。对我国电子级氢氟酸的研究进展进行了概述,主要包括发展现状、制备工艺、质量标准和发展前景等几个方面。
电子级氢氟酸的研究进展
【摘 要】
：
我国半导体制备发展迅速,相应地对氟化工的依赖程度也在不断增加。电子级氢氟酸作为半导体制备、集成电路清洗的关键性材料,我国长期以来依赖于进口。对我国电子级氢氟酸的研
【机 构】
：
浙江厚鹏化工有限公司
【出 处】
：
有机氟工业
【发表日期】
：
2016年01期
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