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SiNx：H薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用，在晶体硅太阳电池（单晶硅、多晶硅）的研究和生产中得到越来越广泛的应用。介绍了SiNx：H薄膜在硅基太阳电池中的减反射和钝化作用，主要制备方法等研究现状，以及面临的问题和今后的研究趋势。
Si基太阳电池用SiNx：H薄膜的研究进展
【摘 要】
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SiNx：H薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用，在晶体硅太阳电池（单晶硅、多晶硅）的研究和生产中得到越来越广泛的应用。介绍了SiNx：H薄膜在硅基太阳电池中的减反射和钝化作用，主
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京交通大学光电子技术研究所
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2008年1期
【基金项目】
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国家863计划项目（2006AA042345）
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