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主要综述了聚羟基苯乙烯用作深紫外光致抗蚀剂主体成膜树脂的发展历程、应用现状以及一些最新的研究进展,并简要介绍了聚羟基苯乙烯的单体衍生物及其聚合物的制备方法．
聚羟基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成
【摘 要】
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主要综述了聚羟基苯乙烯用作深紫外光致抗蚀剂主体成膜树脂的发展历程、应用现状以及一些最新的研究进展,并简要介绍了聚羟基苯乙烯的单体衍生物及其聚合物的制备方法．
【机 构】
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华中科技大学化学系
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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2006年01期
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