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采用短波紫外光（UV）对十八烷基三氯硅烷（OTS）自组装单分子层（SAMs）进行刻蚀,利用化学液相法在OTS-SAMs模板表面制备出铁酸铋（BiFeO3）图案化薄膜。通过接触角、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、X射线能谱（EDS）等测试手段对OTS膜和BiFeO3薄膜进行表征。结果表明：以OTS为模板利用化学液相法成功制备出边缘轮廓清晰、条纹宽度为10～20μm的BiFeO3图案化薄膜。