论文部分内容阅读
本文探讨了一种采用电子微探针（EPMA）技术无损确定微粒表面薄膜厚度的方法．EPMA实验采用蒙特卡洛方法模拟，研究的样品为镀有Ni薄膜的空心玻璃微球和厚的Ni平板．采用蒙特卡洛方法获得了在不同入射电子能量和薄膜厚度情况下的k比例因子，空心玻璃微球上的Ni薄膜厚度可由k比例因子曲线得到，并讨论了误差等问题．