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本文以气体放电理论为基础,利用简化模型推导出射频激励平板CO2激光器气体放电击穿电压的数学关系式,指出影响激光气体放电击穿的几个物理参量。通过对激光气体放电进行数值模拟,得出放电等离子体电压-电流密度特性曲线,讨论了影响该曲线的物理因素,描述了放电等离子体的物理结构模型。把理论结论与相关实验测试结果比较,二者符合一致。