激光退火系统

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美国加利福尼亚州Palo Alto的Coherent公司已开始出售它的新型系统5000型连续波激光退火装置,据称:该装置可以显著提高半导体制造过程的生产率。它用氩激光束时,能以高达500厘米/秒的速率扫掠直径大到10.2厘米的薄片。
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