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激光退火系统
激光退火系统
来源 :四川激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ribenandchina
【摘 要】
:
美国加利福尼亚州Palo Alto的Coherent公司已开始出售它的新型系统5000型连续波激光退火装置,据称:该装置可以显著提高半导体制造过程的生产率。它用氩激光束时,能以高达500厘米
【作 者】
:
(张兵译)
蒋承溪(校)
【出 处】
:
四川激光
【发表日期】
:
1981年3期
【关键词】
:
激光退火
系统
Coherent公司
加利福尼亚州
退火装置
连续波激光
5000型
ALTO
制造过程
生产率
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美国加利福尼亚州Palo Alto的Coherent公司已开始出售它的新型系统5000型连续波激光退火装置,据称:该装置可以显著提高半导体制造过程的生产率。它用氩激光束时,能以高达500厘米/秒的速率扫掠直径大到10.2厘米的薄片。
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