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本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批量生产.
介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统
【摘 要】
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本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批量生产.
【机 构】
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杭州萧山机场,浙江工业大学之江学院
【出 处】
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自动化与仪表
【发表日期】
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2001年3期
其他文献
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