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采用线性近似的方法，对ＭＯＳ器件以道水平加速电场及栅氧化层中的垂直电场进行了研究，给出了一种较精确的简便计算方法，在该电场模型的基础上，建立了整个热载流子效应的模框架。
MOS器件中热载流子效应有关电场的计算方法
【摘 要】
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采用线性近似的方法，对ＭＯＳ器件以道水平加速电场及栅氧化层中的垂直电场进行了研究，给出了一种较精确的简便计算方法，在该电场模型的基础上，建立了整个热载流子效应的模框架。
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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1998年1期
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