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为了完善金刚石膜生长工艺，对衬底温度进行测量和控制，采用基于C8051F020单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度。对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计。经过验证该系统测温准确，效果良好。
EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量
【摘 要】
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为了完善金刚石膜生长工艺，对衬底温度进行测量和控制，采用基于C8051F020单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度。对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2008年5期
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