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阐述了电容式靶式流量计的工作原理,设计了基于MSP430F149单片机的电容式靶式流量计的硬件和软件。采用IAPWS-IF97水蒸汽公式进行密度补偿,克服了传统水蒸汽密度补偿方法不能适应工况大范围变化和不能满足精度要求的缺陷,提高了测量的精度。采用FLUENT数值仿真软件模拟圆盘形、圆锥形、球形等3种靶片的受力、流体流经靶片的压力损失与被测流体质量流量之间的关系,为工程应用中靶片形状的选择提供理论依据。