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为了深入研究重复激光脉冲的能量效应对光学薄膜的烧蚀机理，采用实验观测与热力学分析相结合的方法进行了研究。通过观察光学薄膜烧蚀形貌随入射激光脉冲数量增加发生改变的典型形貌特征，分析了激光与等离子体相互作用的热力学过程，得到了在激光重复脉冲作用下光学薄膜的损伤特性及其演化规律。结果表明，薄膜在重复脉冲作用下，其表面会变得粗糙，这会大大增加对激光的吸收效应，从而加速了薄膜的破坏，最终被完全去除而露出基底；同时，烧蚀物会在热膨胀作用下向激光作用区域外扩散，在激光烧蚀中心区域外进行沉积，而形成更大范围的污染。由于激