RAPID THERMAL ANNEALING OF As ION IMPLANTED SILICON

来源 :中国科学院研究生院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ccysshucc

【摘要】

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As ion implanted damage of silicon was removed by Rapid ThermalAnnealing(RTA)using Model KST-1 RTA appakatus.Removal ofdamage and dopant redistribution were inv

【出处】

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中国科学院研究生院学报

【发表日期】

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1989年1期

【关键词】

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IMPLANTED RAPID ANNEALING DOPANT removed REDISTRIBUTION heating WAFER RUTHERFORD

【基金项目】

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The Project Supported by Nationnl Natural Science Foundation of China

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As ion implanted damage of silicon was removed by Rapid ThermalAnnealing(RTA)using Model KST-1 RTA appakatus.Removal ofdamage and dopant redistribution were investigated by RutherfordBackscattering Spectra(RBS)and Extended Resistance.Sheet resistanceand c

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