离子束掩模修正装置

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808型机据说是笫一个用于修正和分析光掩模及中间掩模上的缺陷的商用聚焦系统,该系统能在单一步骤内完成透明及不透明的两种缺陷的修正,据说分辨率能达0.1μm,并能修复一些过去认为不可弥补的缺陷。该机由 KLA 仪器公司经销。 The 808 is said to be the first commercial focusing system to correct and analyze defects in photomasks and reticle systems that can correct both transparent and opaque defects in a single step and is said to have a resolution of up to 0.1μm, and can fix some past defects that are considered irreparable. This machine is distributed by KLA Instruments.
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