Diamond breakage on CMP pad conditioner

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yeyayuqiya
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Diamond grits may be thermally weakened during the high temperature cycle of brazing.This weakening may exhibit as diamond breakage.During the dressing action,taller diamond grits are more likely to break due to the higher stress present.
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