【摘 要】
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该书是一本用于大规模集成电路结构设计的以图表示的原始资料。书中用大量的截面图,高分辨率的显微图象来说明器件的纵向剖面结构层次和界面。 目前,大规模集成电路制造技术
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该书是一本用于大规模集成电路结构设计的以图表示的原始资料。书中用大量的截面图,高分辨率的显微图象来说明器件的纵向剖面结构层次和界面。 目前,大规模集成电路制造技术发展到了这样一种程度,以致于对横向尺寸和
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