【摘 要】
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基板散热问题已成为制约大功率LED发展的重要因素.文章采用微弧氧化技术在铝合金基板上制备了氧化物绝缘层,并采用磁控溅射工艺在其上制备了导电膜.制备的氧化铝绝缘层的热导
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61372064)
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基板散热问题已成为制约大功率LED发展的重要因素.文章采用微弧氧化技术在铝合金基板上制备了氧化物绝缘层,并采用磁控溅射工艺在其上制备了导电膜.制备的氧化铝绝缘层的热导率可达1.2 W/m·K,并有效减小基板的封装界面热阻,与常用的聚合物绝缘层基板相比,可有效提高基板的散热性能.得到了针对Cr/Ni-Cu金属膜层的最佳镀膜工艺,测试表明镀制的导电膜层结合力达到6.4Mpa.
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