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我们观测到了TiN镀层的一级和二级Raman散射,初步研究了TiN镀层的沉积参数和镀层性质对Raman谱的影响。结果表明TiN镀层的Raman散射不同于体材料氮化钛的Raman散射,特别是在二级Raman散射部分。
TiN镀层的一级和二级Raman散射
【摘 要】
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我们观测到了TiN镀层的一级和二级Raman散射,初步研究了TiN镀层的沉积参数和镀层性质对Raman谱的影响。结果表明TiN镀层的Raman散射不同于体材料氮化钛的Raman散射,特别是在
【机 构】
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吉林大学原子与分子物理所,吉林大学测试中心
【出 处】
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光散射学报
【发表日期】
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1991年1期
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