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本文综述了一种非银盐感光材料—光致抗蚀干膜的发展情况,并对它的结构、组成和应用,作了较详细的介绍。作者根据近期的文献资料及掌握的有关情况,对国外光致抗蚀干膜的进展作了分析,并指出我国的发展方向。
光致抗蚀干膜技术及其进展
【摘 要】
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本文综述了一种非银盐感光材料—光致抗蚀干膜的发展情况,并对它的结构、组成和应用,作了较详细的介绍。作者根据近期的文献资料及掌握的有关情况,对国外光致抗蚀干膜的进展
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1990年3期
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