【摘 要】
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一、低温制造法: 日本京都大学化学研究所最近研究出一种超导材料的低温制造法。该方法使Y—Ba—Cu—O(钇—钡—铜—氧)薄膜在低温下淀积,而不致损坏常规大规模集成电路。制
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一、低温制造法: 日本京都大学化学研究所最近研究出一种超导材料的低温制造法。该方法使Y—Ba—Cu—O(钇—钡—铜—氧)薄膜在低温下淀积,而不致损坏常规大规模集成电路。制造0.15μm薄膜,是将三种初级粒子金属进行加热、蒸发,并以单晶氧化薄膜形式沉淀在一种
First, the low-temperature manufacturing method: Japan Kyoto University Institute of Chemistry recently developed a low-temperature superconducting materials manufacturing method. This method allows Y-Ba-Cu-O (yttrium-barium-copper-oxygen) thin films to be deposited at low temperatures without damaging conventional LSIs. A 0.15 μm film was made by heating, evaporating, and precipitating three primary particle metals in the form of a single crystal oxide film
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