【摘 要】
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提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏
【机 构】
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华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉颐光科技有限公司
【基金项目】
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基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法（51475191）, 基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制（2014BEC052）, 基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究（2015CFB278）, 纳米光学测量技术与仪器创新群体（2015CFA005）
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提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.
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