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在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上.利用计算机模拟了织构薄膜生长的物理过程结果表明,织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束溅射掉的几率相关,这在实验中表现为与辅助离子束入射方向、离子束能量、薄膜材料种类等因素有关
离子束辅助激光制备织构薄膜的计算机模拟术
【摘 要】
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在离子束辅助激光制备取向薄膜的物理机制基础上.利用计算机模拟了织构薄膜生长的物理过程结果表明,织构薄膜的质量直接与不同取向晶粒被辅助粒子束溅射掉的几率相关,这在实
【机 构】
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华中师范大学华中科技大学激光技术国家重点实验室;
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2001年2期
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