F-P干涉仪在长度测量领域的应用

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FP标准具和干涉仪利用多光束干涉的原理,产生极锐的干涉条纹并且谐振频率对FP腔长的变化非常敏感,根据这些特点,从利用FP干涉仪进行激光器的频率锁定、稳频,光学倍程精密定位和纳米测量三个角度综述了在长度测量领域FP干涉仪的发展情况;在分析主要存在的问题和解决方法的基础上,讨论了FP干涉仪的发展方向,并指出在纳米测量中FP干涉仪将起到越来越重要的作用。 F  P etalon and interferometer using the principle of multi-beam interference to produce extremely sharp interference fringes and resonant frequency of PP cavity length is very sensitive to changes in these characteristics, from the use of FP interferometer laser frequency This paper summarizes the development of FP interferometer in the field of length measurement from three perspectives, namely, locking, frequency stabilization, optical double-precision positioning and nanometer measurement. Based on the analysis of the main problems and solutions, the FP interference Instrument development direction, and pointed out that in the measurement of F-P interferometer will play an increasingly important role.
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