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为了改善电感测微仪测头的动态响应性能,找出测头的临界脱离频率,对影响测微仪测头临界脱离频率的因素进行了理论分析,并通过试验台对测头的刚度、质量及预压量等因素对其产生的影响进行了验证。试验结果表明:在对电感测微仪测头的设计中,合理增加刚度和预压量、减少活动部分的质量可以提高测头的动态响应性能。