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一次编程(OTP)存储器的数据保持特性工艺研究
一次编程(OTP)存储器的数据保持特性工艺研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pzcx910
【摘 要】
:
对0.5μm叠柵一次编程(OTP)存储器工艺进行研究,通过选择介质(ONO)工艺条件,选择合适单元尺寸,增加(SIN)保护,优化单元侧面工艺等,使得存储单元在250℃高温24h加速老化后写入
【作 者】
:
房世林
李月影
何永华
【机 构】
:
东南大学集成电路学院华润上华科技有限公司华润上华科技有限公司南京江苏无锡
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
叠柵
OTP
数据保持
嵌入式
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对0.5μm叠柵一次编程(OTP)存储器工艺进行研究,通过选择介质(ONO)工艺条件,选择合适单元尺寸,增加(SIN)保护,优化单元侧面工艺等,使得存储单元在250℃高温24h加速老化后写入阈电压漂移小于10%,嵌入式OTP产品(64k*8位)可靠性评估存储器的数据保持能力大于十年.
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