【摘 要】
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为了在光学薄膜中引入连续轮廓的微结构,综合利用薄膜的干涉效应与微结构的折反射、衍射效应,提出一种薄膜光学微结构的制备工艺。基于时域有限差分方法设计了具有可见光波段
【机 构】
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西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
【基金项目】
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国家基础研究项目(JCKY2016208A002),先进制造项目(41423020111),国家自然科学基金(51502232),陕西省高校科协青年人才托举计划项目(20160122),西安工业大学院长基金(15GDYJY03).
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为了在光学薄膜中引入连续轮廓的微结构,综合利用薄膜的干涉效应与微结构的折反射、衍射效应,提出一种薄膜光学微结构的制备工艺。基于时域有限差分方法设计了具有可见光波段减反射特性的薄膜光学锥形光栅;采用单点金刚石车削技术,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术,在SiNx薄膜中制备出高1.6μm,周期4.1μm的锥形光栅;在可见光波段,SiNx薄膜光学锥形光栅的平均反射率为5.7%,反射率的实验检测结果与仿真计算结果达到很高的一致性;当入射光角度在30°以内,薄膜光学锥形光栅的减反特性表现出对光波入射
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