论文部分内容阅读
采用多弧离子镀方法在低温（166K）、室温（300K）以及不同氩气压力（0．2～0．8Pa）条件下沉积钛薄膜，通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究。结果表明：不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和ω-Ti的两相复合相结构；在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆∞相，因而具有较高的显微硬度，同时还表现出良好的膜基结合性能，比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层，以改善其膜基结合性能和承载能力。