【摘 要】
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为保证滤波器性能,缩小滤波器体积,提高晶圆上的芯片数量,提出一种体声波（BAW）梯形滤波器布局的设计方法。该方法包括11条设计准则和设计流程。11条设计准则限制体声波谐振器（BA
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,核探测与核电子学国家重点实验室中国科学院高能物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF-02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01);西南科技大学研究生创新基金资助项目(17ycx127)
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为保证滤波器性能,缩小滤波器体积,提高晶圆上的芯片数量,提出一种体声波（BAW）梯形滤波器布局的设计方法。该方法包括11条设计准则和设计流程。11条设计准则限制体声波谐振器（BAWR）的形状、位置,BAWR之间的距离,BAWR与焊盘的距离和互连线。设计流程有7个步骤：（1）根据每个BAWR的有效面积,预设每个BAWR的形状;（2）根据BAW梯形滤波器电路结构,排列BAWR;（3）＂压缩＂布局;（4）对BAWR切趾、微调和旋转;（5）对BAWR和焊盘布线;（6）检测滤波器布局是否符合设计准则;（7）使用声-
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