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介绍了作为半导体材料应用的ＳｉＣ的主要性能、晶体生长研究进展及器件研制现状。
SiC晶体生长和应用
【摘 要】
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介绍了作为半导体材料应用的ＳｉＣ的主要性能、晶体生长研究进展及器件研制现状。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年05期
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