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在Si基底上采用直流磁控溅射法制备CrN薄膜,利用原子力显微镜（AFM）、扫描电镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）分析薄膜表面形貌和物相成分,探讨薄膜生长的动力学过程。结果表明：只有当生长时间足够（1 800 s）时,才能形成具有CrN相的薄膜。随着CrN薄膜的生长,薄膜表面晶粒由三棱锥发展为三棱锥与胞状共存状,薄膜表面粗糙度逐渐增大,动力学生长指数β=0.50。