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介绍硅片表面兆声清洗技术的原理,研究硅片湿法清洗的原理,分析硅片兆声清洗的方法及流程图,比较了这些方法各自的特性,根据课题要求,基于兆声清洗的工艺流程,优化出适合于IC硅片的湿法清洗技术。
硅片兆声清洗技术的优化设计
【摘 要】
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介绍硅片表面兆声清洗技术的原理,研究硅片湿法清洗的原理,分析硅片兆声清洗的方法及流程图,比较了这些方法各自的特性,根据课题要求,基于兆声清洗的工艺流程,优化出适合于IC
【机 构】
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北京蓝星清洗有限公司
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2017年10期
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