【摘 要】
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采用正交法对减压化学气相淀积生长SiGe材料的多因素、多水平计算流体动力学模拟进行优化设计．采用FLUENT软件，对正交优化设计的试验进行了密度、速度及压强分布的模拟．对生长表
【机 构】
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西安电子科技大学宽带隙半导体国家重点实验室
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采用正交法对减压化学气相淀积生长SiGe材料的多因素、多水平计算流体动力学模拟进行优化设计．采用FLUENT软件，对正交优化设计的试验进行了密度、速度及压强分布的模拟．对生长表面9点位置处的模拟结果进行了极差和方差分析，得到了最终的模拟优化工艺参数．正交法设计的模拟优化参数与实际工艺实验参数相一致，低温生长应变SiGe的优化模拟参数为流量1．67×10^-4m^3／s，基座温度823K，反应室压强2666．44Pa；高温生长弛豫SiGe的优化模拟参数为流量1．67×10^-4m^3／s
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