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本文综述低温多晶硅(LTPS)TFT技术的最新进展情况。该技术目前的研究前沿是:(1)制作高性能的TFT;(2)在柔性衬底上制作LTPSTFT;(3)驱动有机发光器件的TFT;(4)LTPSTFT的新应用。同时还展望了LTPSTFT技术的未来发展趋势。
低温多晶硅TFT技术的发展
【摘 要】
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本文综述低温多晶硅(LTPS)TFT技术的最新进展情况。该技术目前的研究前沿是:(1)制作高性能的TFT;(2)在柔性衬底上制作LTPSTFT;(3)驱动有机发光器件的TFT;(4)LTPSTFT的新应用
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2003年01期
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