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本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。
高精度硅电容压力传感器的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,复旦大学电子工程系,复旦大学电子工程系 沈阳市 110043,沈阳市 110043,沈阳市 110043,上海市 200433,
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年10期
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