用XPS研究Na2S钝化的GaAs(100)表面

来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hzyxsjf

【摘要】

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本文用na2S·9h2o的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对gaaS表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XpS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究.结果表明,经

【作者】

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任殿胜李雨辰严如岳王为

【机构】

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天津大学化工学院,信息产业部电子第四十六研究所

【出处】

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现代仪器

【发表日期】

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2001年3期

【关键词】

：

GAAS 表面钝化 XPS GaAs Passivation XPS

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本文用na2S·9h2o的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对gaaS表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XpS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究.结果表明,经不同的na2S溶液处理后gaaS表面的自然氧化层会被除去,表面生成硫化镓和硫化砷;硫化物的含量与硫化层厚度与所用溶液的极性有关;并对钝化机理进行了探讨.

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