论文部分内容阅读
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它所涉及的是微米（μｍ）级的加工，现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成为大规模集成电路和微细图案形成必不可少的加工手段。例加在微米、亚微米大规模集成电路（ＶＬＳＩ）中，芯片...
扫描电镜在微细加工技术中的应用
【摘 要】
：
微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它所涉及的是微米（μｍ）级的加工，现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成为大规模集成电路和微细图案形成必不可少的
【机 构】
：
电子科技大学材料分析中心
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
1999年2期
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的探讨彩色多普勒超声结合血清CD64水平诊断小儿川崎病的临床诊断价值,为小儿川崎病的诊断提供指导。方法选取2012年1月至2015年12月来安徽省儿童医院就诊的50例小儿川崎病
基于多视几何原理来恢复和重建随时间变化的三维柔性物体是当前计算机视觉和三维扫描领域的研究热点之一.本文利用主动式标记点方法,提出并实现了在三维模型指导下鲁棒地从多
对国内多个实行集约化管理的高校学术期刊群进行调研,发现目前主要有四种常见的集约管理模式。通过分析这些期刊群的运营机制,得出集约化管理的关键是现行体制下如何激发员工
彰显我国科技研究实力,争创国际化一流期刊是我国科技期刊的主要目标。因此,我国高质量的论文走向世界,作为其内容载体的英文科技期刊,其语言编校质量起非常关键的作用。结合
导致金属氧化膜电阻器失效的主要因素是膜层结构变化、电解和接触部分老化，为了减少失效、改善电阻温度系数ａ，在生产实践中控制工艺参数是关键工序的质量，其中重点是镀膜。通过调
采用溶胶－凝胶法以ＳｎＣｌ２·Ｈ２Ｏ和ＺｒＯＣｌ２·８Ｈ２Ｏ为原料，制备出性能优良的纳米ＳｎＯ２薄膜材料，用Ｘ射线衍射仪分析了晶相，ＴＥＭ分析了微观结构，了掺杂、处理温度等对其性能地影响，在此基础上制作了ＳｎＯ２薄膜气敏器件
介绍对ＮｉｘＭｎ３－ｘＯＮＴＣ热敏电阻材料进行锂掺杂的两种方法，并对掺杂后的电阻性能进行了研究，结果表明：掺杂后仍可获得尖晶石结构的半导瓷，但阳离子分布改变；在晶粒 间界处发生偏析；掺Ｌｉ后电阻率，材料
由中国印刷及设备器材工业协会和中国国际展览中心集团公司主办、中印协华港国际展览有限公司承办的“第七届北京国际印刷技术展览会（CHINAPRINT2009）”将于2009年5月12—16日