论文部分内容阅读
溅射靶材常用于半导体产业、记录媒体产业和先进显示器产业。在不同产业中,半导体集成电路制造业对溅射靶材的质量要求最高。对用于集成电路制造的溅射靶材的材质类型、纯度要求、外形发展进行了阐述,并讨论了溅射靶材微观组织对溅射薄膜性质的影响,以及靶材中夹杂物、晶粒尺寸、晶粒取向的控制方法。
集成电路制造用溅射靶材
【摘 要】
：
溅射靶材常用于半导体产业、记录媒体产业和先进显示器产业。在不同产业中,半导体集成电路制造业对溅射靶材的质量要求最高。对用于集成电路制造的溅射靶材的材质类型、纯度
【机 构】
：
北京有色金属研究总院
【出 处】
：
稀有金属
【发表日期】
：
2005年04期
【基金项目】
：
北京市科学技术委员会专项基金资助项目(D0405001040431)
其他文献
以《聊斋志异》作为个案研究,重构小说中小人的世界。着重在钩勒神话故事中小人的外貌、性格和神通,强调小人形体的矮小,以及与原形的关系;也从其外貌揭示中国神话故事中的小
通过微博进行网络阅读在大学生中广泛流行,微博阅读具有信息量大,获取信息便捷,多媒介呈现、语言通俗易懂、涉及内容庞杂的特点,但目前普遍反映出大学生网络阅读效果一般的现
独立思考是培养学生良好学习习惯的一个极为重要的方面,是发现问题、分析问题、解决问题的必备条件。它是学生主动获取知识、发展能力的必要手段。学生是数学学习的主人,是思
目的:观察补中益气汤治疗小儿脱肛的临床疗效。方法:对符合病例入选标准的55例脱肛患儿给予补中益气汤口服,1剂/d,水煎分服,同时以补中益气汤煎液熏洗患处,1次/d。结果:治愈4
效度是评判一套试题质量的主要标准,对于测试而言,衡量试题设计的优劣取决于其效度。英语专业八级考试是考查英语专业学生的专业水平测试,而其中听力测试部分又是专业八级考
随着现代雷达技术的快速发展,低相位噪声、低杂散、捷变频的超宽带频率合成器已经成为频率合成器研究的主要趋势。在被广泛应用的线性调频连续波(FMCW)雷达系统中,高线性度、
<正> 日本东京Tunsalog有限公司研制了一种新型碳化物陶瓷,牌号为KS20,该公司声称:它是一种抗机械热的钛合金。 该公司还研制了一种牌号为TAC的碳化物,它采用了KS20碳化物进
期刊
艺术语言的审美发现指艺术语言向发话主体和受话主体生成和显现美感的过程。它往往指向非实体性。艺术语言的审美发现不同于科学发现。它是某一存在物的意义向审美主体生存和
建设有特色职业学校是职业学校追求的办学目标。职业学校特色建设应以创新人才培养模式为前提,以特色专业建设为关键,以校园文化建设为载体,形成独特、优质、稳定的办学风格
随时时代的发展,教育的信息化也在不断新,人们对多样化的教育有着更多的期待,由此,我国开放性大学应运而生,它以适应国家经济发展和人民的全面发展需求为宗旨。因此为促进终