一台起动快维持久的小型无油玻璃超高真空系统

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linjavac
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本实验装置的特点是起动快,维持久,不加冷剂,抽气两三个小时即可达到1.8×16~(-6)帕的真空度。最近的实验结果,起始压力为1.33×10~(-4)帕,经十几分钟可达7.98×10~(-7)帕,在各种泵停止工作后,采用高真空阀逐级封闭,系统真空度维持在6.12×10~(-4)帕以上达5个月之久。 The experimental device is characterized by fast start, long-lasting, without refrigerant, pumping two or three hours to reach 1.8 × 16 ~ (-6) Pa vacuum. Recent experimental results, the initial pressure of 1.33 × 10 ~ (-4) Pa, after a few minutes up to 7.98 × 10 ~ (-7) Pa, stop working in a variety of pumps, the use of high vacuum valve step by step closed , The system vacuum maintained at 6.12 × 10 ~ (-4) Pa above for 5 months.
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