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针对”传感器中毒“现象，在正面敏感的扩展电阻硅流量传感器的基础上，提出背面敏感的ＳＲＳＦ传感器，并设计出相应的表面贴装元件封装形式。理论推导和测试结果表明：背面敏感的ＳＲＳＦ传感器的输出电压和流体流速、流向的关系可表述为Ｖｏｕｔ＝±Ｋ．ΔＴｃ．ｕ√ｆ；芯片厚度对灵敏度影响很大，其最值值为１５０βｍ。