【摘 要】
：
在射频等离子体化学气相沉积条件下,在玻璃、低碳钢、云母、单晶Si(|||)等基材上沉积TiN薄膜。试验表明,在这些基材上,在一定条件下,都可得到高度定向的TiN膜。研究了等离子
论文部分内容阅读
在射频等离子体化学气相沉积条件下,在玻璃、低碳钢、云母、单晶Si(|||)等基材上沉积TiN薄膜。试验表明,在这些基材上,在一定条件下,都可得到高度定向的TiN膜。研究了等离子体化学气相沉积中形成高度定向膜的条件及原因。
TiN thin films are deposited on substrates such as glass, mild steel, mica, single crystal Si (|||) under radio frequency plasma chemical vapor deposition. Experiments show that on these substrates, under certain conditions, can be highly oriented TiN film. The conditions and reasons for the formation of highly oriented films in plasma enhanced chemical vapor deposition were investigated.
其他文献
本文以一台常规的Aglient 5500型的扫描探针显微镜为基础,通过配置光源及聚焦系统、研制光强度自动控制部件、研制样品台等方法将太阳光模拟器发射的光引入样品的探针扫描区
雾天条件下会降低大气的能见度,使拍摄的景物图像发生降质退化,这将会严重影响户外图像的采集与处理。因此,深入研究雾天降质图像的复原和图像中景物的细节信息的增强有着非
2001年诺贝尔文学奖获得者V.S.奈保尔在其非洲题材小说中将非洲丛林经历的意义颠覆和重组,描述成与欧洲文明开化之地截然不同的文化语境,显性描写与隐性描写杂糅在非洲丛林书
<正> 80年代生人重在参与、勇于表现、追求快乐的气质,她们身上的自我与主见,让那些六七十年代出生的评委们诧异,这是中国改革开放20多年的成果 "小家伙,你知道自己走音么?"
构建了一个实时在线监测水体样品中低含量亚硝酸盐的化学发光分析系统。采用连续采样方式,在线将NO-2转换为HOONO并立即与Luminol反应,实现了对亚硝酸盐的全自动连续检测。方
目的观察强制性运动治疗急性脑卒中偏瘫上肢功能障碍的临床效果。方法将70例急性脑卒中偏瘫上肢功能障碍患者随机分为治疗组和对照组,各35例。2组患者急性期均接受神经内科常
施工组织设计除了满足施工的要求外,还是编制工程预算的重要依据,成本控制的关键,通过编制经济合理的施工组织设计更能有效地控制成本的投入。本文结合工程实例,讲述施工组织
肝脏是同型半胱氨酸(Hcy)代谢的主要场所,各种原因(包括诱导内质网应激的因素)导致肝脏功能受损时,可使机体血液中Hcy水平升高,造成高同型半胱氨酸血症(HHcy),进一步触发内质
农产品加工业是辽宁省第二大支柱性产业,作为东北老工业基地,农业大省,粮食主产区及农副食品基地,农产品加工业的发展如何直接影响辽宁乃至东北农业经济的发展。本文以辽宁省
<正>0引言自动化领域中的一个重要趋势是通过提高机器人的使用量,从而提升生产效率,降低生产成本。德克萨斯公司ARC Specialties在其全自动焊接设备中,将机器人技术与Beckhof