【摘 要】
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通过不同Al含量的Ti-Al粉末冶金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti 1-xAlxN涂层.用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用.研究表明,TiAlN涂层呈柱
【机 构】
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宁波市表面工程研究中心,哈尔滨工业大学
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通过不同Al含量的Ti-Al粉末冶金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti 1-xAlxN涂层.用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用.研究表明,TiAlN涂层呈柱状多晶组织,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相;随着Al含量的增加,涂层中的(Ti,Al)N相将减少,且其晶格常数将降低.
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