光纤真空压力传感器的实验研究

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基于反射式光纤位移传感器原理,利用真空膜盒,设计了一种光纤真空压力传感系统,该系统具有体积小、结构简单、全光纤传输,易于实现远程测量及使用方便等特点。实验结果表明:在103~105Pa的压力测量范围内,实验测量系统的绝对误差为±0.6×103Pa。
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