溶胶-凝胶法制备ZnO:Al透明导电膜正交试验的灰色关联分析

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介绍了灰色关联分析的模型和算法,并运用灰色关联分析结合正交试验的方法对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al透明导电膜过程中的溶胶浓度、掺杂量、镀膜层数、退火温度四个关键工艺因素对薄膜电性能的影响程度进行了研究,得出退火温度对膜的电性能的影响最为重要,其次是掺杂浓度和镀膜层数,溶胶浓度的影响最小。
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