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为实现对SiC外延生长设备运行中水、电、气、温度、压力、运动等参数的全面实时稳定的控制,采用模块化设计方法,设计了SiC外延生长设备控制系统,介绍了SiC外延生长设备控制系统总体架构、硬件组成与主要分控系统的设计.目前已成功应用于SiC外延生长设备上,经过实际工艺验证,控制系统架构完备、性能稳定.