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建立微型行波超声电机定子的参数化有限元模型，在灵敏度分析的基础上选择设计变量，设定了可反映电机输出性能的目标函数（由速度因子以及径向运动分量构成），并采用模态置信准则（Modal Assurance Criteria）自动识别出定子的工作模态，实现了对电机定子的参数优化设计。将该方法用于12mm行波型旋转超声电机定子的结构设计，最后根据设计方案加工得到样机，通过试验验证了该优化方法的有效性和正确性。