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本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理，然后着重对其控制系统进行分析，研究了控制参数的设置方法，分析了系统的稳定性，给出仿真结果，最后，分析了执行元件存在的误差，并给出了消除误差的方法。
纳米压痕数字控制系统分析
【摘 要】
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本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理，然后着重对其控制系统进行分析，研究了控制参数的设置方法，分析了系统的稳定性，给出仿真结果，最后，分析了执行元件存在的误差，并给出了消除
【机 构】
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哈尔滨工业大学机械工程系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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