【摘 要】
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文中设计了一种基于SOI材料的E型膜结构无引线倒封装压力芯片。SOI材料的选用解决了高温环境下漏电流的问题,可以满足目前航空发动机对于高温使用环境的要求。E型膜结构与传
【机 构】
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苏州长风航空电子有限公司传感器事业部,西安交通大学机械学院,苏州科技大学机械工程学院
【基金项目】
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博士后国际交流计划引进项目(博管办[2018]115号),中国博士后科学基金第65批面上资助(2019M651934),2019江苏省资助招收博士后项目(苏人社发[2019]155号)
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文中设计了一种基于SOI材料的E型膜结构无引线倒封装压力芯片。SOI材料的选用解决了高温环境下漏电流的问题,可以满足目前航空发动机对于高温使用环境的要求。E型膜结构与传统C型膜结构相比解决了灵敏度与线性度无法同时满足需求的难题。通过无引线倒封装工艺,实现了传感器小型化、轻量化的设计需求。设计的压力传感器量程为0~1.5 MPa,400℃输出灵敏度为80 mV/MPa,线性度0.17%FS,综合精度0.18%FS。传感器最大外廓尺寸为S10 mm×20 mm,传感器质量为15.5 g。
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