论文部分内容阅读
我们发现含氮CZ-Si单晶中N-N对具有独特的等时退火行为,可划分成如下三个阶段:在400—600℃温区,N-N对的等时退火行为是不可逆的,而600—800℃温区是可逆的,大于800℃氮开始产生沉淀.我们还发现450℃预处理可加速在高温时氮的沉淀速率.本文对上述实验结果给予详细的讨论.
含氮CZ-Si中N-N对的退火行为
【摘 要】
：
我们发现含氮CZ-Si单晶中N-N对具有独特的等时退火行为,可划分成如下三个阶段:在400—600℃温区,N-N对的等时退火行为是不可逆的,而600—800℃温区是可逆的,大于800℃氮开始
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,浙江大学半导体材料研究所,上海无线电十七厂
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1991年4期
【基金项目】
：
高纯硅及硅烷国家重点实验室
其他文献
本文在利用X射线动力学和运动学衍射理论对单晶外延层材料的双晶摇摆曲线进行计算分析的基础上,给出了测定单晶外延层厚度和质量的方法.当外延层的厚度较薄时,外延层衍射峰的
介绍了脉码调制(pulse code modulation,PCM)设备在甘肃电力通信网中的应用情况。针对不同时期建设的通信电路中PCM设备软、硬件版本不一致的问题,进行了统一的升级改造,并实
本文利用共振核反应定量地确定了LPCVD氮化硅敏感膜中,氢原子浓度及其分布.我们不仅证实了在825℃温度下,淀积的氮化硅敏感膜内存在氢原子,而且敏感膜表面所存在氢原子浓度为
1医学影像的功能利用不同成像方法所获得的医学影像可以揭示病人的不同特性.这些特性包括病人的透射率、不透度、发射率、反射率、传导率、磁化率、分子弛豫常数以及这些特性
会议
本文案例启示：司法实务中,以盗窃、抢劫等常见侵财型犯罪居多,多重行为在定性时也最易混淆。准确的事实整理以及事实与法条恰当的对应,不仅是正确定性的前提,也是一个司法者必
在云南这样的少数民族聚居地区建立农村社会养老保险制度,既是一项惠民政策,又是一项异常艰巨的社会系统工程。要在立足边疆、民族、贫困实际的基础上,重视新农保制度建立初
本文报道了低阈值脊形波导单量子阱级联双区激光器的制备，直流输出特性，光双稳、光谱调谐和高频调制Ｐｓ特性，激射波长～０．８５μｍ，调谐范围为７ｎｍ。
如何理解理性、平和、文明、规范的执法观,并以此来指导办案,是基层院检察长面临的、必须认真思考的一个重大的问题。执法观所要求的理性、平和、文明、规范四个方面是有机联
本文在4.2K下测定了液相外延HgCdTe MIS结构样品的电容谱,磁阻振荡以及迴旋共振效应,并从实验测量结果,采用物理参数拟合法,确定了该样品在电量子限条件下反型层电子子能带结
本文对各种GaAs晶体表面作了SEM电子通道技术测量,对测得的电子通道花样进行了结晶学注释,确定了评价晶体完整性的标准。可广泛用来检查和评估半导体表面的晶体完整性.