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H^+辐照前后C—SiC涂层的XPS分析
H^+辐照前后C—SiC涂层的XPS分析
来源 :南昌航空工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Q672855312
【摘 要】
:
对不锈钢基体上离子束混合沉积的C-SiC涂层进行了H+辐照模拟试验,由SIMS测量H+辐照前后氢的浓试分布,采用沟电子能谱(XPS)对H+辐照前后涂层元素C和Si进行了内层电子结合能的
【作 者】
:
熊器
杨斌
刘耀光
汪德志
黄宁康
雷家荣
【机 构】
:
南昌航空工业学院,四川大学,中国工程物理研究院核物理与化学所
【出 处】
:
南昌航空工业学院学报
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
涂层
XPS
沟电子能谱
碳
碳化硅
薄膜
阻氢性能
C-SiC coating H+ ion irradiation XPS
【基金项目】
:
国家自然科学基金,中国工程物理研究院科研项目
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对不锈钢基体上离子束混合沉积的C-SiC涂层进行了H+辐照模拟试验,由SIMS测量H+辐照前后氢的浓试分布,采用沟电子能谱(XPS)对H+辐照前后涂层元素C和Si进行了内层电子结合能的测量分析,研究C及Si的化学键态的变化与H的关系,探讨SiC涂层阻氢机理.
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