320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究

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【摘要】

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报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料，平

【作者】

：

赵俊杨玉林李艳辉杨春章谭英齐航韩福忠邢一山王

【机构】

：

昆明物理研究所

【出处】

：

红外技术

【发表日期】

：

2014年6期

【关键词】

：

分子束外延锗基碲镉汞红外焦平面探测器 MBEMCT/GeIRFPA

【基金项目】

：

国家重大专项.

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报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料，平均宏观缺陷密度低于200 cm^-2，平均半峰宽优于90 arcsec，平均腐蚀坑密度低于2.9×10^6 cm^-2；采用标准的二代平面工艺制备的320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器，平均峰值探测率达到3.8×1011 cm·Hz1/2W^-1，平均等效噪音温差优于17.3 mK，非均

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